Помпа Maglev, CXF-250/2301E, ISO-K/CF, водно охлаждане на борда

Технологии:

• Технология за управление на магнитния лагер: 5-осна магнитна левитация, базирана на съвременна международна теория за управление, за да гарантира такива значителни предимства на високоскоростния вал като стабилна левитирана и надеждна работа.
• Технология за управление на моторното задвижване: Високоефективен високоскоростен DC двигател и система за управление на серво, притежаващи максимална енергия на двигателя и за автоматично компенсиране на скоростта на въртене на вала, като по този начин се реализира стабилно стартиране, надеждна работа и функция за автоматично регулиране на динамичната енергия.
• Композитна роторна технология от въглеродни влакна: Произведено чрез смесване на високоякостна алуминиева сплав и леки въглеродни влакна. характеризиращ се с голямо намаляване на теглото и голямо подобряване на здравината, така че се постигат цели с висока скорост на въртене, висока производителност и висока надеждност.
• Технология, устойчива на корозия: Повърхностите на частите в камерите се обработват със специален процес, така че повърхностите да могат да устоят на корозия, причинена от корозивни газове в производствените процеси на полупроводници за дълго време. В допълнение, инертните газове като N2 са напълно запълнени в шахтата на помпите, за да защитят ниско вакуумните части в помпите, така че да се реализира функцията за стабилно изпускане на корозивни газове за дълги периоди.
• Система за контрол на температурата на отопление: оборудвани с електрически нагревател и регулатор на температурата, охлаждащата вода, отоплението с въздушни кости, електрическото отопление и топлината, пренасяна от защитни газове, могат да бъдат наблюдавани и контролирани по време на работа, температурата в помпите може да се поддържа на определена стойност за дълго време, някои газообразни веществата не се превръщат в твърди вещества при нормална температура и не се отлагат в помпите и могат да бъдат изпълнени изискванията за специален процес като ецване.

Предимствата:

Тези помпи имат предимства, като нулево триене по време на работа и ниска консумация на енергия, Лесен за придобиване наистина чист висок вакуум и свръхвисок вакуум без смазване за помпи, Възможност за извличане на корозивни газове за дълго време, Висока безопасност и дълъг експлоатационен живот поради защита на лагери с прецизни керамични топки и функция за генериране на енергия в случай на внезапно изключване на захранването. Той има предимства като без триене, замърсяване и поддръжка и с ниски вибрации и може да се инсталира във всяка посока.

Приложения:

Извличане на корозивни газове, съществуващи при ецване, CVD, PVD и йонно имплантиране и газове, лесно коагулирани при нормална температура в областите на производство на полупроводници, производство на скоби, промишлено покритие и научни инструменти, особено за.

Спецификации: