Магнитно левитирана помпа, CXF-200/1401E, водно охлаждане, на борда

Магнитно левитираните молекулни помпи са помпите, чието разпределение се поддържа от магнитната сила.
Сериите с магнитно левитирани молекулни помпи са вакуумно генериращо оборудване, разработено от KYKY за посрещане на изискванията за приложение в областите на съвременното производство на полупроводници, производството на чипове, промишленото покритие и научните инструменти.

Технологии:

• Технология за управление на магнитния лагер: Приетият електромагнит е 5-ос с магнитна левитация. Този дизайн може да има динамична реакция и навременна настройка чрез динамична активна технология за управление на магнитно окачване със затворена верига, базирана на съвременна международна теория за управление, така че да гарантира такива значителни предимства на високоскоростния вал като стабилна левитирана и надеждна работа.
• Технология за управление на моторното задвижване: Високоефективният високоскоростен DC двигател и сервоуправляващата система се прилагат към поредици с магнитно левитирани помпи, така че да имат максимална енергия на двигателя и да компенсират автоматично въртенето на вала, като по този начин се реализира стабилно стартиране, надеждна работа и автоматично регулиране функция на динамична енергия.
• Композитна роторна технология от въглеродни влакна: Турбо роторите на серийни магнитни окачващи молекулни помпи са направени чрез смесване на високоякостна алуминиева сплав и леки въглеродни влакна. В сравнение с всички ротори от алуминиева сплав, турбо роторите се характеризират с голямо намаляване на теглото и значително подобряване на якостта, така че се постигат цели с висока скорост на въртене, висока производителност и висока надеждност.
• Технология, устойчива на корозия: Повърхностите на части в камери на серийни магнитни суспензионни молекулни помпи се обработват със специален процес, така че повърхностите да могат да устоят на корозия, причинена от корозивни газове в производствените процеси на полупроводници за дълго време. В допълнение, такива инертни газове като N2 се пълнят изцяло в шахтата на помпите, за да се защитят частите с нисък вакуум в помпите, така че да се реализира функцията за стабилно изпускане на корозивни газове за дълги периоди.
• Система за контрол на температурата на отопление: Сериите магнитно левитирани молекулни помпи са оборудвани с електрически нагревател и терморегулатор, така че охлаждащата вода, нагряването на въздух-кост, електрическото отопление и топлината, пренасяна от защитни газове, могат да бъдат наблюдавани и контролирани по време на работа, температурата в помпите може да се поддържа при някаква стойност в дългосрочен план, някои газообразни вещества не се превръщат в твърди вещества при нормална температура и не се отлагат в помпите и могат да бъдат изпълнени изискванията за специален процес като ецване.

Предимствата:

1. Нулево триене по време на работа и ниска консумация на енергия

2. Лесно се придобива наистина чист висок вакуум и свръхвисок вакуум без смазване за помпи

3. Възможност за извличане на корозивни газове в дългосрочен план

4. Висока безопасност и дълъг експлоатационен живот поради защитата на лагерите с прецизни керамични топки

5. функция за генериране на енергия в случай на внезапно изключване на захранването

Спецификации:

Приложения:

Сериите с магнитно левитирани молекулни помпи се прилагат главно в области на производство на полупроводници, производство на скоби, промишлено покритие и научни инструменти, особено за извличане на корозивни газове, съществуващи в ецване, CVD, PVD и йонни импланти и газове, лесно коагулирани при нормална температура.