Магнитно левитирана помпа, CXF-320/3001E, водно охлаждане, ISO-F, на борда
Магнитно левитираните молекулни помпи са помпите, чието разпределение се поддържа от магнитната сила.
Сериите с магнитно левитирани молекулни помпи са вакуумно генериращо оборудване, разработено от KYKY за посрещане на изискванията за приложение в областите на съвременното производство на полупроводници, производството на чипове, промишленото покритие и научните инструменти.
Предимства:
1. Нулево триене по време на работа и ниска консумация на енергия
2. Лесен за придобиване наистина чист висок вакуум и свръхвисок вакуум без смазване за помпи
3. Способни да извличат корозивни газове в дългосрочен план
4. Висока безопасност и дълъг експлоатационен живот поради защитата на лагерите с прецизни керамични топки
5. функция за генериране на енергия в случай на внезапно изключване на захранването
6. Без триене
7. Без замърсяване
8. Без поддръжка
9. Ниска вибрация
10. инсталиран във всякаква ориентация.
Приложения:
Сериите с магнитно левитирани молекулни помпи се прилагат главно в области на производство на полупроводници, производство на скоби, промишлено покритие и научни инструменти, особено за извличане на корозивни газове, съществуващи в ецване, CVD, PVD и йонни импланти и газове, лесно коагулирани при нормална температура.
Спецификации:
| Модел | CXF-320/3001E |
| Скорост на помпата (л/сек, въздух) | 3200 |
| Степен на компресия | > 1 × 108 |
| Най -добрият вакуум (Pa) | ≤5 × 10-7 |
| Входящ фланец | ISO-F 320 |
| Изходящ фланец | KF 40 |
| Скорост на въртене (об / мин) | 24000 |
| Време за изтичане (мин) | 12 |
| VIB (мм) | <0,05 |
| Подпорна помпа (L/s) | 15 |
| Монтаж или иентация | Всякакви |
| Метод на охлаждане | Вода |
| Тегло (кг) (с контролер) | 75 |
Технологии:
- Технология за управление на магнитния лагер: 5-осна магнитна левитация, базирана на съвременна международна теория за управление, за да гарантира такива значителни предимства на високоскоростния вал като стабилна левитирана и надеждна работа.
- Технология за управление на моторното задвижване: Високоефективен високоскоростен DC двигател и система за управление на серво, притежаващи максимална енергия на двигателя и за автоматично компенсиране на скоростта на въртене на вала, като по този начин се реализира стабилно стартиране, надеждна работа и функция за автоматично регулиране на динамичната енергия.
- Композитна роторна технология от въглеродни влакна: Произведено чрез смесване на високоякостна алуминиева сплав и леки въглеродни влакна. характеризиращ се с голямо намаляване на теглото и голямо подобряване на здравината, така че се постигат цели с висока скорост на въртене, висока производителност и висока надеждност.
- Технология, устойчива на корозия: Повърхностите на частите в камерите се обработват със специален процес, така че повърхностите да могат да устоят на корозия, причинена от корозивни газове в производствените процеси на полупроводници за дълго време. В допълнение, инертните газове като N2 са напълно запълнени в шахтата на помпите, за да защитят ниско вакуумните части в помпите, така че да се реализира функцията за стабилно изпускане на корозивни газове за дълги периоди.
- Система за контрол на температурата на отопление: оборудвани с електрически нагревател и регулатор на температурата, охлаждащата вода, отоплението с въздушни кости, електрическото отопление и топлината, пренасяна от защитни газове, могат да бъдат наблюдавани и контролирани по време на работа, температурата в помпите може да се поддържа на определена стойност за дълго време, някои газообразни веществата не се превръщат в твърди вещества при нормална температура и не се отлагат в помпите и могат да бъдат изпълнени изискванията за специален процес като ецване.