Фланец (В) | CF | 63CF | препоръчително предвакуумно налягане | Па | <50 |
предвакуумна помпа | GHD-031B „масло“ (суха помпа по избор) | ||||
Фланец (навън) | ISO-KF | DN25 | Охлаждане, стандартно | Въздух | |
Скорост на изпомпване | л/с | N2: 62 | |||
Той: 55 | |||||
H2: 34 | Входно напрежение/ честота | V/Hz | 220 ± 22/50 | ||
Ar: 65 | Температура на околната среда (℃) |
Въздушно охлаждане |
5 ℃ -32 ℃ |
||
Степен на компресия | N2: 109 | ||||
Той: 105 | монтажна позиция | Вертикален | |||
H2: 104 | Модел на контролера | TCP-100 | |||
Ar: 109 |
L*W*H |
mm | 400 × 300 × 260 | ||
Максимално налягане | Па | CF: 5 × 10-5 | |||
Тегло | килограма |
21 |
Помпена станция FJ-80, Компактна маслена или суха резервна помпа по избор:
Турбопомпената станция е част от чисто високо (свръхвисоко) оборудване за получаване и представлява система за получаване на вакуум, състояща се главно от молекулна помпа и механична помпа според вакуумните познания и принцип. Продуктите в тази спецификация включват FJ-80, турбо помпена станция, със съответна скорост на изпомпване 62L/s. Скоростите на изпомпване на подпорни маслени помпи са 0,5L/s, а скоростите на помпата на подпорни сухи помпи са 0,2L. Тези продукти се прилагат широко в областите на повърхностния анализ, ускорителната технология, плазмената технология, изследователските лаборатории, производството на електрически вакуумни устройства и други вакуумни области.
Конфигурация:
Кадър | Преносим модул |
Молекулярна помпа | FF-63/80 |
Управление на молекулна помпа модул |
TC-100 |
Подпорна помпа | GHD-031B (маслена помпа) KNF 813.3 ANF (суха помпа) |
Вакуумметър | WPC400 (външен, по избор) |
Електромагнитен блоков вентил | AirTAC |
Преходна камера | DN63/CF35/KF40 (персонализирано) |
Други прикачени файлове | Гофрирана тръба, обръч, болтове, блоков вентил, меден уплътнителен пръстен без кислород и др |