Това е актуализираната версия на EM8000, с подобрено ускорение на тръбата E-Beam, варира вакуумен режим, достъпен за наблюдение на непроводима проба при ниско напрежение без разпръскване, лесна, удобна и приятелска операционна система, план за многократно разширение. Това е и първият FEG SEM с резолюция 1nm (30kV).
Предимства:
1, електронен пистолет на Schittky, висока яркост, добра монохроматичност, малко петно на лъча, дълъг живот.
2, с ускорение на тръбата с E-лъч, опционално забавяне на етапа
3, стабилен ток на лъча, ниско енергийно разпространение
4, Непроводима проба наблюдавайте без напръскване при ниско напрежение
5, Лесен, удобен и приятелски интерфейс за работа
6, огромен 5 -осен моторизиран етап
Спецификации:
Конфигурация | |
Резолюция | 1 nm@30kV (SE) |
3nm@1Kv (SE) | |
2.5nm@30kV (BSE) | |
Увеличение | 15x-800,000x |
Ускоряващо напрежение | 0-30kV непрекъснато и регулируемо |
Електронен пистолет | Пистолет за емисии на полето Шотки |
Катоден излъчвател | Волфрамов монокристал |
Eucentric Auto Stage с пет оси | X: 0 ~ 150 мм |
Y: 0 ~ 150 мм | |
Z: 0 ~ 60 мм | |
R: 360 ° | |
T: -5 °~75 ° | |
Макс Екземпляр | 320 мм |
L*W*H | 342 мм*324 мм*320 мм (вътрешен размер на камерата) |