Предимства:
Тази помпа от серия е добра при експлоатационни условия при тежки условия на околната среда (висока температура, прах и т.н.), стабилна в работата и с дълъг експлоатационен живот, както и лесна поддръжка и удобна работа.
Приложения:
Основните приложения са в индустриалното откриване на течове, PVD, CVD, йонната имплантация, производството на вакуумни електронни компоненти, ниско-E стъкло, ITO стъкло, оптично покритие, слънчеви клетки, заваряване с електронен лъч, вакуумна пещ и други индустрии
Спецификации:
Фланец (В) | DN400 ISO-K | Газ навсякъде (sccm) | N2: 5500 |
Фланец (Изход) KF | DN100 | Той: 4000 | |
Скорост на изпомпване (L/s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
Той: 2650 | Ar: 2100 | ||
H2: 1280 | Скорост на въртене (об / мин) | 13500 | |
Ar: 3200 | Време за изтичане (мин) | ≤18 | |
Степен на компресия | N2: 108 | Охлаждане, стандартно | Вода |
Той: 103 | Консумация на охлаждаща вода (L/min) | ≥1 | |
H2: 102 | Температура на охлаждащата вода (℃) | ≤25 | |
Ar: 108 | Захранване: Напрежение (V AC) | DC24/AC220 | |
Максимално налягане (Pa) | 6 × 10-6 | Максимална консумация на енергия, W) | ≤1100 |
Макс. Непрекъснато налягане във вакуума (Па) | 100 | Модел на контролера | FD-III |
Макс. Предвакуумно налягане | N2: 300 | Тегло (кг) | 130 |