Предимства:
1. Добро представяне при сурова околна среда (висока температура, прах и т.н.).
2. Стабилна работа и дълъг експлоатационен живот
3. Проста поддръжка, удобна работа
Приложения:
Турбо помпите за смазване с масло се използват главно в промишленото откриване на течове, PVD, CVD, йонна имплантация, производство на вакуумни електронни компоненти, стъкло с ниско съдържание на E, ITO стъкло, оптично покритие, слънчеви клетки, заваряване с електронен лъч, вакуумна пещ и други индустрии.
Спецификации :
Фланец (В) |
DN150 CF/ISO-K |
Макс. Непрекъснато налягане във вакуума (Па) |
240 |
Фланец (Изход) KF |
DN40 KF |
Макс. Предвакуумно налягане (Pa) |
N2: 350 |
Скорост на изпомпване (L/s) |
N2: 600 |
Газ навсякъде (sccm) |
N2: 1200 |
Той: 380 |
Той: 880 |
||
H2: 240 |
H2: 700 |
||
Ar: 580 |
Ar: 450 |
||
Степен на компресия |
N2: 109 |
Скорост на въртене (об / мин) |
36000 |
Той: 105 |
Време за изтичане (мин) |
≤9 |
|
H2: 104 |
Охлаждане, стандартно |
Вода/Въздух |
|
Ar: 109 |
Консумация на охлаждаща вода (L/min) |
≥1 |
|
Максимално налягане (Па) |
CF: 6 × 10-8 |
Температура на охлаждащата вода (℃) |
≤25 |
ISO-K: 6 × 10-7 |
Захранване: Напрежение (V AC) |
220 ± 22 |
|
Модел на контролера |
TCDP-II |
Максимална консумация на енергия, W) |
≤500 |